一、高純水製取設備簡介
高(超)純水製取設備提供生產半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件等電子工業用超純水係統。產水水質可達最高可達18.3兆歐,符合電子行業生產所需超純水水質要求。海揚公司曾為國內外多家知名電子工業廠家及製藥企業製作工業超純水設備。
二、高純水製取設備推薦工藝流程
1、預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5 μ m精密過濾器-用水點
2、 預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精製混床-0.2或0.5 μ m精密過濾器-用水點
三、高(超)純水工藝係統簡述
為滿足用戶需要,達到符合標準的水質,盡可能地減少各級的汙染,在工藝設計上,取達國家自來水標準的水為源水,再設有介質過濾器,活性碳過濾器,精密過濾器等預處理係統、雙級RO反滲透主機係統、EDI或離子交換混床係統等。
1、介質過濾器主要作用是去除源水中的懸浮物質及機械雜質設備由優質不鏽鋼材料製作而成。體內裝有布水帽、精製石英砂等,亦可裝其它填料。合理的石英砂裝填比例及良好的布水係統,使係統的產水水質更加穩定。另外設備還設有氣體衝刷功能,能最大限度地清除介質上及床層中的汙垢,提高出水水質和延長工作周期。
2、活性碳過濾器具有除臭、去色、除油、吸附有機物雜質等作用,能最大程度的去除水中的遊離餘氯,保證反滲透膜的進水水質,設備由優質不鏽鋼材料製成。
3、RO主機係統引進國際上先進的反滲透技術,利用壓力差原理,能有效地去除水中的鹽類,脫鹽率可達到99%左右。
4、 EDI(電除鹽係統)工作原理
高純度水對許多工商業工程非常重要,比如:半導體製造業和製藥業。以前這些工業用的
純淨水是用離子交換獲得的。
然而,膜係統和膜處理過程作為預處理過程或離子交換係統的替代品越來越流行。如電除鹽過程(EDI)之類的膜係統可以很幹淨地去除礦物質並可以連續工作。
而且,膜處理過程在機械上比離子交換係統簡單得多,並不需要酸、堿再生及廢水中和。
EDI處理過程是膜處理過程中增長最快的業務之一。EDI是帶有特殊水槽的非反向電滲析(ED),這個水槽裏的液流通道中填充了混床離子交換樹脂。
EDI主要用於把總固體溶解量(TDS)為1-20mg/L的水源製成8-17兆歐純淨水。通常水源是由反滲透(RO)產生。
ED和EDI都是用直流電作為除鹽的能源。如圖所示,溶液中的離子被吸向帶相反電荷的電極。
如圖所示,用陰、陽離子選擇膜把電極之間的空間隔成小室,這樣可以把一半小室中的鹽除去,而在另一半小室內濃縮。不斷地給小室供水和抽水,就可以建立連續的除鹽處理過程。
ED和EDI中用的膜是用離子交換樹脂製成片狀,通常為了增加強度會在樹脂片上附一層布。
ED和EDI的物理區別(如圖3所示)主要在於除鹽室裏填充的是混床離子交換樹脂珠。
離子的轉移分為2個步驟。首先離子擴散到離子交換樹脂,然後在電場作用下穿過樹脂到達膜。因為這樣的電阻較小,電流會流過離子交換樹脂。EDI的濃縮室中沒有樹脂。